TAMANHOS DE ÓXIDO DE ALUMÍNIO PARA WAFER DE SILÍCIO
Existem muitos tipos de óxido de alumínio no mercado.
Devido à técnica de fabricação, existem óxido de alumínio calcinado e óxido de alumínio fundido.
De acordo com a fase cristalina, existem óxido de α-alumínio e óxido de β-alumínio.
Então, que tipo de óxido de alumínio é usado para lapidar o wafer de silício?
É um tipo de óxido de alumínio calcinado com plaquetas brancas, zhengzhou haixu abrasive co., ltd, produzido por muitos anos, cuja qualidade é semelhante ao JAPÃO FUJIMI e EUA Microgrit WCA.
Os tamanhos que os abrasivos haixu produzem são os seguintes?
| TAMANHO | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77,6 | 39-44,6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23,8-27,2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50,4 | 28,1-32,3 | 19,2-22,3 | 13,4-15,6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40,1 | 24,4-28,2 | 16,1-18,7 | 9,6-11,2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32,0 | 20,9-24,1 | 13,1-15,3 | 8,2-9,8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25,2 | 14,8-17,2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20,3 | 11,8-13,8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16,3 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3,3-3,9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12,5 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2,55-3,05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10,0 | 4,8-5,6 | 2,8-3,4 | 1,5-2,1 |
Neles, HX-PWA/WCA09, HX-PWA/WCA12 e HX-PWA/WCA15 são amplamente usados para lapidação de wafer de silício.
