Existem muitos tipos de óxido de alumínio no mercado, que são usados em diferentes campos.
Para lapidação de wafer de silício, geralmente use óxido de alumínio calcinado branco plaquetário, que é em forma de placa e a especificação é a seguinte:
COMPOSIÇÃO QUÍMICA MÉDIA (TÍPICA)
Al 2 O 3 >99,0%
SiO2 < 0,2%
Fe2O3<0,1%
Na2O < 1%
PROPRIEDADES FÍSICAS ( TÍPICA A L)
Dureza de Mohs 9,0
Gravidade Específica >3,9g/cm 3
Forma Placa-forma
DISTRIBUIÇÃO DE TAMANHOS DE PARTÍCULAS
TAMANHO | D0 | D3 | D50 | D94 |
PESO/WCA40 | <77,6 | 39-44,6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
PESO/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
PWA/WCA25 | <40,1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
PESO/WCA20 | <32,0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
PESO/WCA15 | <25,2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
PESO/WCA12 | <20,3 | 11,8-13,8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
PWA/WCA09 | <16.3 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3.3-3.9 |
PWA/WCA05 | <12,5 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
PWA/WCA03 | <10,0 | 4,8-5,6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |